سامانه پلاسما کلینر

این دستگاه به عنوان یکی از پرکاربردترین سامانه‌های پلاسما مطرح می‌باشد. در این سیستم در فشار پایین و در محدوده‌ی میلی تور با اعمال اختلاف پتانسیل الکتریکی، محیط پلاسما تشکیل می‌شود.الکترون‌های موجود در محیط پلاسما اقدام به تولید الکترون‌های دیگر، یون‌ها، رادیکال‌ها و گونه‌های فعال می‌کند که می‌توانند سطح موردنظر را پردازش نمایند.

این دستگاه، قابلیت تزریق ۳۰ نوع گاز با نرخ تزریق ۰ تا ۵۰۰ سی‌سی بر دقیقه را با دقت ۰.۱ سی‌سی بر دقیقه دارا می‌باشد. این دستگاه می‌تواند برای ایجاد لایه‌های نانومتری نیز نورد استفاده قرار گیرد.

 

دریافت بروشور